Dichtheitsprüfung für die Halbleiterindustrie
Die Halbleiterindustrie entwickelt sich rasant weiter und drängt ständig auf kleinere, leistungsfähigere Chips. Die Hersteller von Unterbaugruppen stehen unter dem Druck, fehler- und mängelfrei zu liefern.
Teile und Komponenten wie Bühnen- und Überwachungssysteme (EUV/DUV-Lithografie usw.), Kühlsysteme, elektrische Komponenten, Dichtungen, Optiken und Sensoren usw. müssen alle mit einem Höchstmaß an Kontrolle und Präzision geprüft werden, um die Qualität des Fertigungsprozesses zu gewährleisten. Bei solch kleinen, komplizierten Prozessen gibt es wenig bis keinen Spielraum für Fehler.
innomatec erkannte, dass der Markt für Dichtheitsprüfungen mit den sich entwickelnden Anforderungen der Branche nicht Schritt halten konnte und entwickelte eine Lösung, die die strengen Prüfanforderungen dieser Branche nicht nur erfüllt, sondern übertrifft.
Luftdichtheitsprüfgeräte für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie
innomatec hat den Einkanal-Leck-Testcomputer LTC-802 SI und den Mehrkanal-Leck-Testcomputer LTC-902 SI entwickelt, um diese Anforderungen zu erfüllen, die der Markt nicht erfüllen konnte. Diese SI-Modelle bieten die gleiche Flexibilität und Präzision wie unsere Standardmodelle LTC-802 und LTC-902, sind jedoch mit hochwertigen Komponenten ausgestattet, um gänzlich auf Kupfer und Messing verzichten zu können.
In der Halbleiterindustrie, wo kleine Leckagen zu kostspieligen Ausfällen führen können, bieten die LTC SI-Modelle von innomatec eine unvergleichliche Genauigkeit, die selbst kleinste Leckagen erkennt. Diese Modelle stellen sicher, dass Ihre Unterbaugruppen den strengen Standards der Halbleiterindustrie entsprechen und die strengen Anforderungen erfüllen.
LTC-802SI Einkanal-Dichtheitsprüfgerät
LTC-902SI Mehrkanal-Dichtheitsprüfgerät
Kupferfreie Konstruktion zur Verringerung des Korrosionsrisikos bei Mikroverbindungen
Die LTC SI-Modelle verfügen über ein spezielles kupferfreies Design, um das erhöhte Korrosionsrisiko zwischen den sehr kleinen, mikroskopisch kleinen Verbindungen dieser Maschinentypen zu mindern. Ohne diese Option der kupferfreien Dichtheitsprüfung haben die Hersteller nur die Möglichkeit, mit Hilfe von Prüfgas-/Helium-Dichtheitsprüfmethoden zu prüfen, was komplexer und kostspieliger ist.
Hochpräzise Messung und Genauigkeit
Überwachung und Aufzeichnung von Dichtheitsprüfprozessen, Integration der Daten in Ihr System
innoRC ist ein einzigartiges Software-Feature, das die Fernsteuerung von innomatec-Dichtheitsprüfgeräten über eine Windows-Anwendung ermöglicht. innoRC erlaubt es Herstellern, jeden Moment eines Dichtheitsprüfprozesses zu überwachen und aufzuzeichnen und die Daten von Ihrem LTC-Dichtheitsprüfgerät über eine DLL nahtlos in Ihre Steuerungssysteme zu integrieren, was die Möglichkeit bietet, die Qualität Ihrer Prozesse zu analysieren und nachzuweisen.
Dichtheitsprüfungsanwendungen in der Halbleiterindustrie
Die Leck-Testcomputer von innomatec bieten die Genauigkeit und Zuverlässigkeit, die Sie benötigen, um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Wir verfügen über eine Vielzahl von Dichtheitsprüfgeräten mit der hohen Leistung und Flexibilität, um die vielen Komponenten und Baugruppen zu testen, die in der Halbleiterindustrie auf Dichtheit geprüft werden müssen, einschließlich:
Stage and Motion Control Systems
- Überprüfung der Integrität von Stage and Motion Control Systems.
- Prüfung auf undichte Stellen oder Verunreinigungen, die die Präzision und Genauigkeit von Prozessen wie der EUV/DUV-Lithografie beeinträchtigen könnten.
Kühlsysteme
- Überprüfung der Kühlkreisläufe und Anschlüsse auf Lecks.
- Sicherstellen, dass die Kühlsysteme optimal funktionieren, da Systeme, wie sie für die EUV/DUV-Lithografie verwendet werden, während des Betriebs erhebliche Wärme erzeugen.
Elektrische Komponenten
- Prüfung auf undichte Stellen oder Verunreinigungen im Bereich empfindlicher elektrischer Komponenten und Anschlüsse.
- Sich vergewissern, dass keine Feuchtigkeit oder andere Verunreinigungen in diese Bereiche eingedrungen sind, die zu elektrischen Fehlfunktionen führen können.
Dichtungen und Dichtungsringe
- Prüfung aller Dichtungen auf Anzeichen von Verschleiß oder Beschädigung.
- Leckageprüfung an kritischen Dichtungsstellen zur Vermeidung von Verunreinigungen.
Belichtungsoptiken und Sensoren
- Kontrollieren, dass die Belichtungsoptik und die Sensoren frei von Verunreinigungen und Ablagerungen sind.
- Eine Dichtheitsprüfung kann das Eindringen von Gasen oder Partikeln in diese kritischen Komponenten verhindern.
Entdecken Sie die innovativen Lösungen von innomatec für diese sich schnell entwickelnde Branche
innomatec steht an der Spitze dieser sich schnell entwickelnden Industrie. Seit über 40 Jahren arbeitet innomatec mit den größten Herstellern in Europa und der ganzen Welt zusammen und unterstützt sie bei der Lösung von Prüfproblemen in ihren Produktionslinien, um höchste Produktqualität zu gewährleisten. Wir arbeiten kontinuierlich an Innovationen und nutzen unsere jahrzehntelange Erfahrung und Kompetenz, um Lösungen zu entwickeln, die die Anforderungen unserer Kunden erfüllen und übertreffen.
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